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等离子净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1) 等离子净化器电场+电子→高能电子
(2) 等离子净化器高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基 团
(3) 等离子净化器活性基团+分子(原子)→生成物+热
(4) 等离子净化器活性基团+活性基团→生成物+热
